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Design of a MEMS Accelerometer in COMSOL Multiphysics and a Pickup Circuit Model in Matlab Simulink

多物理 加速度计 MATLAB语言 微电子机械系统 皮卡 计算机科学 有限元法 电子工程 机械工程 工程类 物理 结构工程 量子力学 人工智能 图像(数学) 操作系统
作者
Semyon Stolbov,Vera Loboda
标识
DOI:10.1109/eexpolytech62224.2024.10755840
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