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Facile routes to enhance doping efficiency using nanocomposite structures for high-mobility and stable PEALD-ITGO TFTs
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作者
Dong-Gyu Kim,
Minseok Kim,
Dong-Hyeon Lee,
Seung Hee Lee,
Jihyun Kho,
Yurim Kim,
Bongjin Kuh,
Hiroshi Yanagi,
Keiga Fukui,
Jin‐Seong Park
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2024-05-22
卷期号：665: 160370-160370
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160370
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