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Preparation and transformation of color centers in 4H-SiC by electron irradiation and subsequent annealing
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作者
Xiaoqing Liu,
Yang Liu,
Yan Liu,
Yaolan Tian,
Qingbo Li,
Xian Zhao
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01
卷期号：12 (41): 16782-16788
被引量：1
标识
DOI：10.1039/d4tc03000a
摘要
The conversion from V Si to CAV induced by 2 MeV 10 16 e cm −2 was compared with that induced by annealing, and the latter was more thorough. The optimized preparation conditions are: 2 MeV is prone to CAV and 10 MeV corresponding to V Si .
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