SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
清晨好，您是今天最早来到科研通的研友！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您科研之路漫漫前行！
Efficient access to non-damaging GaN (0001) by inductively coupled plasma etching and chemical–mechanical polishing
感应耦合等离子体
抛光
化学机械平面化
蚀刻（微加工）
等离子体
材料科学
等离子体刻蚀
等离子体原子发射光谱
冶金
纳米技术
光电子学
图层（电子）
物理
量子力学
作者
Qiubo Li,
Shouzhi Wang,
Lei Liu,
Kepeng Song,
Jiaoxian Yu,
Guodong Wang,
Jingliang Liu,
Peng Cui,
Siheng Chen,
Defu Sun,
Zhongxin Wang,
Xiangang Xu,
Lei Zhang
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2024-09-10
卷期号：679: 161207-161207
被引量：13
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.161207
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Wucaihong
完成签到
，获得积分
10
40秒前
沉钧
完成签到，获得积分
10
42秒前
热带蚂蚁
完成签到
，获得积分
10
46秒前
Xzx1995
完成签到
，获得积分
10
47秒前
善学以致用
的
应助
被
科研小小小白
采纳，获得
10
51秒前
典雅思真
完成签到
，获得积分
10
51秒前
奶茶电竞精神
完成签到
，获得积分
10
51秒前
贪玩含蕾
发布了新的
文献求助
10
52秒前
善学以致用
上传了
应助文件
59秒前
俊逸吐司
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
科研小小小白
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
qqq
完成签到
，获得积分
0
1分钟前
科研小小小白
完成签到，获得积分
10
1分钟前
贪玩含蕾
完成签到，获得积分
10
1分钟前
科研通AI2S
上传了
应助文件
1分钟前
棠臻
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
herpes
完成签到
，获得积分
0
1分钟前
wonwojo
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
cq_2
完成签到，获得积分
0
1分钟前
小粒橙
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
所所
的
应助
被
生物摸鱼大师
采纳，获得
10
1分钟前
racill
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
牛仔
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
所所
上传了
应助文件
1分钟前
icymars
关注了科研通微信公众号
1分钟前
Boring
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
彦子
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
生物摸鱼大师
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
在水一方
的
应助
被
Wang
采纳，获得
10
2分钟前
MM
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
丘比特
上传了
应助文件
2分钟前
bkagyin
的
应助
被
生物摸鱼大师
采纳，获得
10
2分钟前
icymars
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
叶远望
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
懒得起名字
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
王婷
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
vitamin
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
bkagyin
上传了
应助文件
2分钟前
生物摸鱼大师
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
FashionBoy
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Kinesiophobia : a new view of chronic pain behavior
2000
Burger's Medicinal Chemistry, Drug Discovery and Development, Volumes 1 - 8, 8 Volume Set, 8th Edition
1800
Cronologia da história de Macau
1600
文献PREDICTION EQUATIONS FOR SHIPS' TURNING CIRCLES或期刊Transactions of the North East Coast Institution of Engineers and Shipbuilders第95卷
1000
BRITTLE FRACTURE IN WELDED SHIPS
1000
Lloyd's Register of Shipping's Approach to the Control of Incidents of Brittle Fracture in Ship Structures
1000
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
工程类
有机化学
纳米技术
计算机科学
化学工程
生物化学
物理
复合材料
内科学
催化作用
物理化学
光电子学
细胞生物学
基因
电极
遗传学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
6151292
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
7979919
关于积分的说明
16575487
捐赠科研通
5262725
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2808664
邀请新用户注册赠送积分活动
1788907
关于科研通互助平台的介绍
1656950
今日热心研友
大力的灵雁
407
760
青木陽菜的文鳥
780
嘉心糖
37
90
Widy
38
30
黑猫乾杯
39
GingerF
7
310
BowieHuang
300
无极微光
11
140
忧心的曼凝
240
佳俊
15
80
扶雨至姑苏
15
50
愔愔
9
100
tuanheqi
2
150
小荷才露尖尖角
150
来来来
12
YifanWang
11
LXrz2g
100
瞌睡小蛋
7
30
超级的伟泽
70
杨华启
60
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
大力的灵雁
青木陽菜的文鳥
嘉心糖
Widy
黑猫乾杯
GingerF
BowieHuang
无极微光
忧心的曼凝
佳俊
扶雨至姑苏
愔愔
tuanheqi
小荷才露尖尖角
来来来
YifanWang
LXrz2g
瞌睡小蛋
超级的伟泽
杨华启
皖公网安备34019202002308
