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Nanovoid-driven highly crystalline aluminum nitride and its application in solar-blind UV photodetectors
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Moonsang Lee,
Hyungbin Son,
Hae-Yong Lee,
Joonhee Moon,
Heejin Kim,
Ji-In Park,
Zheng Liu,
Myung Gwan Hahm,
Mino Yang,
Un Jeong Kim
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2020-01-01
卷期号：8 (41): 14431-14438
被引量：14
标识
DOI：10.1039/d0tc03208e
摘要
Surface treatment in AlN layer introduces nanovoids, which suppressed the propagation of threading dislocations to the surface, thus encouraging the growth of high crystalline AlN.
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