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Microstructure and tribological properties of Ti(Cr)SiCN coating deposited by plasma enhanced magnetron sputtering

材料科学 涂层 微观结构 锡 溅射沉积 摩擦学 冶金 溅射 基质（水族馆） 钛合金 钛 粘附 腔磁控管 复合材料 合金 薄膜 纳米技术 地质学 海洋学
作者
Qiang Li,Fan-qing Jiang,Y.X. Leng,Ronghua Wei,Nan Huang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2012-03-29 卷期号：89: 168-173 被引量：34
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2012.03.053
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