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Electrical Characteristics of Metal-Insulator-Semiconductor Structure Using a-C:H Films Fabricated by Dual Magnetron Sputtering

材料科学溅射沉积半导体光电子学绝缘体（电）腔磁控管金属溅射对偶（语法数字）冶金纳米技术薄膜文学类艺术

作者

Yong Seob Park,Nam‐Hoon Kim,Soohyun Hwang,Jaehyeong Lee

出处

期刊：Science of Advanced Materials [American Scientific Publishers]
日期：2018-03-01 卷期号：10 (3): 433-437

标识

DOI：10.1166/sam.2018.3042

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