Laser multi-focus precision cutting of thick sapphire by spherical aberration rectification

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作者
Rui Ma,Lingfei Ji,Tianyang Yan
出处
期刊:Optics and Lasers in Engineering [Elsevier BV]
卷期号:126: 105876-105876 被引量:18
标识
DOI:10.1016/j.optlaseng.2019.105876
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