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作者
P. Prasannalakshmi,
N. Shanmugam
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2017-01-18
卷期号：61: 114-124
被引量：118
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2017.01.008
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