In situ assessment of target poisoning evolution in magnetron sputtering

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作者
Muhammad Arif,C. Eisenmenger‐Sittner
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:324: 345-352 被引量:36
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2017.05.047
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