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Coating diamond-like carbon films on polymer substrates by inductively coupled plasma assisted sputtering

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作者
S. Khatir,Akira Hirose,C. Xiao
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2014-05-24 卷期号：253: 96-99 被引量：26
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2014.05.020
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