Atomic layer deposition of palladium thin film from palladium (II) hexafluoroacetylacetonate and ozone reactant

材料科学 原子层沉积 薄膜 图层(电子) 金属 化学工程 沉积(地质) 蓝宝石 铂金 无机化学 分析化学(期刊) 催化作用 化学 纳米技术 冶金 有机化学 光学 古生物学 工程类 物理 激光器 生物 沉积物
作者
Yiming Zou,Jiahui Li,Chunyu Cheng,David Z.W. Wang,Amanda Jiamin Ong,Ronn Goei,Xianglin Li,Shuzhou Li,Alfred Iing Yoong Tok
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:738: 138955-138955 被引量:10
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2021.138955
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
VV完成签到,获得积分10
2秒前
Lin完成签到,获得积分10
2秒前
3秒前
weila完成签到 ,获得积分10
3秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
4秒前
lsy完成签到,获得积分10
4秒前
shengdong完成签到,获得积分10
4秒前
诸青梦完成签到 ,获得积分10
6秒前
lky1017完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
快乐谷蓝完成签到,获得积分10
8秒前
你好你好完成签到 ,获得积分10
8秒前
LZH发布了新的文献求助10
9秒前
多肉丸子完成签到,获得积分10
9秒前
活泼的煎饼完成签到,获得积分10
10秒前
金少爷发布了新的文献求助10
11秒前
jojo完成签到 ,获得积分10
11秒前
快乐小海带完成签到,获得积分10
12秒前
科研的橘子完成签到,获得积分10
12秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
13秒前
13秒前
忐忑的草丛完成签到,获得积分10
14秒前
16秒前
yin完成签到,获得积分10
16秒前
皮皮团完成签到 ,获得积分10
18秒前
研友_842M4n发布了新的文献求助10
20秒前
嘎嘣脆完成签到 ,获得积分10
20秒前
研友_Lw7OvL发布了新的文献求助10
21秒前
英俊的铭应助js采纳,获得10
21秒前
别闹闹完成签到 ,获得积分10
22秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
22秒前
GHL完成签到,获得积分10
23秒前
niu完成签到,获得积分10
23秒前
HCLonely完成签到,获得积分0
24秒前
SCI硬通货完成签到 ,获得积分10
24秒前
Milton_z完成签到 ,获得积分0
26秒前
26秒前
26秒前
冷冷暴力完成签到,获得积分10
26秒前
zzh完成签到 ,获得积分10
27秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Encyclopedia of Forensic and Legal Medicine Third Edition 5000
Introduction to strong mixing conditions volume 1-3 5000
Agyptische Geschichte der 21.30. Dynastie 3000
Aerospace Engineering Education During the First Century of Flight 2000
从k到英国情人 1700
„Semitische Wissenschaften“? 1510
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5773484
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 5611745
关于积分的说明 15431379
捐赠科研通 4905949
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2639966
邀请新用户注册赠送积分活动 1587841
关于科研通互助平台的介绍 1542900