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Scalable CMOS back-end-of-line-compatible AlScN/two-dimensional channel ferroelectric field-effect transistors

材料科学 可扩展性 晶体管 光电子学 场效应晶体管 CMOS芯片 铁电性 非易失性存储器 计算机科学 纳米技术 电气工程 电压 工程类 电介质 数据库
作者
Kwan-Ho Kim,Sehoon Oh,Merrilyn Mercy Adzo Fiagbenu,Jeffrey Zheng,Pariasadat Musavigharavi,Pawan Kumar,Nicholas Trainor,Areej Aljarb,Yi Wan,Hyong Min Kim,Keshava Katti,Seunguk Song,Gwangwoo Kim,Zichen Tang,Jui‐Han Fu,Mariam Hakami,Vincent Tung,Joan M. Redwing,Eric A. Stach,Roy H. Olsson,Deep Jariwala
出处
期刊：Nature Nanotechnology [Springer Nature]
日期：2023-05-22 卷期号：18 (9): 1044-1050 被引量：26
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41565-023-01399-y
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