Scalable CMOS back-end-of-line-compatible AlScN/two-dimensional channel ferroelectric field-effect transistors

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作者
Kwan‐Ho Kim,Seyong Oh,Merrilyn Mercy Adzo Fiagbenu,Jeffrey Zheng,Pariasadat Musavigharavi,Pawan Kumar,Nicholas Trainor,Areej Aljarb,Yi Wan,Hyong Min Kim,Keshava Katti,Seunguk Song,Gwangwoo Kim,Zichen Tang,Jui‐Han Fu,Mariam Hakami,Vincent Tung,Joan M. Redwing,Eric A. Stach,Roy H. Olsson
出处
期刊:Nature Nanotechnology [Nature Portfolio]
卷期号:18 (9): 1044-1050 被引量:197
标识
DOI:10.1038/s41565-023-01399-y
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