Driving up the quality of metal organic chemical vapor deposition-grown epitaxial wafers for highly innovative photonic applications

金属有机气相外延 化学气相沉积 薄脆饼 光电子学 材料科学 外延 光子学 图层(电子) 平版印刷术 纳米技术
作者
Iwona Pasternak,Walery Kołkowski,Jarosław Jureńczyk,Kacper Matuszelański,Włodek Strupiński
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:778: 139906-139906 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2023.139906
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