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Preparation and characterization of chromium oxide thin Films: the response of morphology, crystal structure, and electrical properties to oxygen pressure under magnetron sputtering

材料科学 溅射沉积 表征（材料科学） 铬 氧气压力 形态学（生物学） 氧气 薄膜 腔磁控管 氧化物 晶体结构 溅射 化学工程 Crystal（编程语言） 光电子学 冶金 化学 纳米技术 结晶学 地质学 有机化学 程序设计语言 计算机科学 古生物学 工程类
作者
Zhenmin Li,Baosen Mi,Xun Ma,Ping Liu,Fengcang Ma,Ke Zhang,Xiaohong Chen,Xinfa Zhu,Yi Meng,LU Hong-mei,Wei Li
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-07-31 卷期号：228: 113518-113518 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113518
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