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作者
P. Vijayakumar,
E. P. Amaladass,
K. Ganesan,
R.M. Sarguna,
Varsha Roy,
S. Ganesamoorthy
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2023-10-12
卷期号：169: 107897-107897
被引量：17
链接
arxiv.org
arxiv.org
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2023.107897
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