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Hybrid Bonding With Particle Accommodation Using Polymer Dielectric: Design, Process and Yield Study
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作者
Ling Xie,
Yu Shoji,
Masaya Jukei,
Kota Nomura,
Takenori Fujiwara,
Hitoshi Araki,
Yugo Tanigaki,
Ser Choong Chong,
Vasarla Nagendra Sekhar,
Mishra Dileep Kumar,
Hipona Randy Tupaen,
Vempati Srinivasa Rao
标识
DOI：10.1109/ectc51687.2025.00022
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