Optimization of Deep Trench Isolation on 0.18μm SOI BCD Technology for Automotive Application

绝缘体上的硅 汽车工业 分离(微生物学) 浅沟隔离 沟槽 计算机科学 材料科学 汽车工程 工程类 光电子学 纳米技术 航空航天工程 微生物学 图层(电子) 生物
作者
Siti Aisah Binti Mohd Salleh,Sim Poh Ching
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DOI:10.1109/cstic61820.2024.10532041
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