Synthesis of monoclinic structure gallium oxide film on sapphire substrate by magnetron sputtering

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作者
Jianxu Sun,Wei Mi,De-shuang Zhang,Zhengchun Yang,Kailiang Zhang,Yemei Han,Yujie Yuan,Jinshi Zhao,Bo Li
出处
期刊:Optoelectronics Letters [Springer Science+Business Media]
卷期号:13 (4): 295-298 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s11801-017-7065-y
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