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Tribochemical mechanisms of abrasives for SiC and sapphire substrates in nanoscale polishing
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作者
Qiufa Luo,
Jing Lu,
Feng Jiang,
Jia‐Ming Lin,
Zige Tian
出处
期刊：
Nanoscale
[Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01
卷期号：15 (38): 15675-15685
被引量：22
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d3nr02353b
摘要
Material removal mechanisms of abrasives for SiC and sapphire in nanoscale polishing.
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