Effect of Deposition Temperature on the Electrical Properties of Solid-Phase Crystallized Ge Thin Films

薄膜 材料科学 沉积(地质) 相(物质) 化学工程 相变 工程物理 纳米技术 化学 地质学 有机化学 工程类 沉积物 古生物学
作者
Youngho Cho,Mingjun Jiang,Donghwan Ahn,Woong Choi
出处
期刊:Electronic Materials Letters [Springer Science+Business Media]
卷期号:20 (6): 694-701 被引量:3
标识
DOI:10.1007/s13391-024-00506-y
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