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Interfacial Layer Engineering in Zr-Doped HfO2 Ferroelectric Films: Trade-Off Between Polarization Enhancement and Reliability

材料科学 铁电性 兴奋剂 极化（电化学） 可靠性（半导体） 光电子学 图层（电子） 纳米技术 电介质 物理化学 量子力学 物理 功率（物理） 化学
作者
Shengyi Yang,Wenxuan Ma,Yue Peng,Qiuxia Wu,Shuo Zhang,Wenwu Xiao,Zhen Zhang,Chunfu Zhang,Xiaohua Ma,Yue Hao
出处
期刊：ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
日期：2025-10-17
标识
DOI：10.1021/acsami.5c12145
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