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High Resolution Well-Plasma Detection Device in 16Nm Cmos Finfet Process
CMOS芯片
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材料科学
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物理
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量子力学
作者
Chieh‐Hsin Lin,
Wei‐Lun Chang,
Wei-Hwa Lin,
Ching-Yun Chang,
Wun-Jie Lin,
Jam-Wem Lee,
K.-M. Chen,
Ming-Hsiang Song,
Yue‐Der Chih,
Eric W. Wang,
Jonathan Chang,
Y.C. King,
Chrong Jung Lin
标识
DOI：10.23919/vlsitechnologyandcir65189.2025.11074983
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