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Aluminium Thin Film Surface Modification via Low-Pressure and Atmospheric-Pressure Argon Plasma Exposure

铝薄膜材料科学表面粗糙度氩大气压力图层（电子）溅射复合材料表面电导率欧姆接触冶金分析化学（期刊）电导率化学纳米技术物理化学有机化学地质学海洋学色谱法

作者

Muhammad Izzuddin Abd Samad,Nafarizal Nayan,Ahmad Shuhaimi Abu Bakar,A. H. Wageh,Azrul Azlan Hamzah,Rhonira Latif

出处

期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Springer Nature]
日期：2022-06-01 卷期号：16 (3): 421-426 被引量：5

标识

DOI：10.1134/s1027451022030387

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