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Surface Structure and Morphology Modification of Silicon Layers Induced by Nanosecond Pulsed Laser Irradiation

材料科学硅辐照激光器纳秒图层（电子）结晶形态学（生物学）表层复合材料光电子学化学工程光学物理生物核物理学遗传学工程类

作者

Alexander Demchuk

出处

期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：1996-01-01 卷期号：441 被引量：1

标识

DOI：10.1557/proc-441-627

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