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Positive charging of thermal SiO2 layers: hole trapping versus proton trapping
作者
V. V. Afanas’ev,
G.J. Adriaenssens,
A. Stesmans
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2001-11-01
卷期号：59 (1-4): 85-88
被引量：17
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(01)00651-7
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