Effect of substrate temperature on structural, morphological and optical properties of crystalline titanium dioxide films prepared by DC reactive magnetron sputtering

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作者
Ananthakumar Ramadoss,Balasubramanian Subramanian,S. Yugeswaran,M. Jayachandran
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
卷期号:23 (10): 1898-1904 被引量:24
标识
DOI:10.1007/s10854-012-0681-1

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