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Nanofabrication by electron beam lithography and its applications: A review

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作者

Yifang Chen

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2015-03-01 卷期号：135: 57-72 被引量：788

标识

DOI：10.1016/j.mee.2015.02.042

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