Molecular dynamics for cooling rate dependence of solidification of aluminum nitride

材料科学 分子动力学 成核 氮化物 热力学 结晶
作者
Kang Liang,Fang Dong,Gai Wu,Sheng Liu
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:121: 105340-
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2020.105340
摘要

Abstract The solidification process of aluminum nitride was investigated by molecular dynamics simulation. It was observed that crystals started to form when the temperature was cooled down to 1650 K at the cooling rates of 0.5 K/ps, 1 K/ps and 3 K/ps and amorphous structure was formed at the cooling rates of 4 K/ps, 5 K/ps and 10 K/ps. The Voronoi polyhedron of and reached their maxima at the cooling rate of 1 K/ps and 5 K/ps respectively. A relative lower cooling rate facilitated the formation of crystal and when the cooling rate was as low as 0.5 K/ps, the cubic diamond structure was inhibited. The hexagonal diamond and cubic diamond structure content achieved the maxima at the cooling rates of 0.5 K/ps and 1 K/ps respectively.

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