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Dependence of the quality of thick resist structures on resist baking
作者
G. Bleidießel,
G. Gruetzner,
F. Reuther,
S. Fehlberg,
Bernd Loechel,
A. Macioßek
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：1998-03-01
卷期号：41-42: 433-436
被引量：7
链接
fraunhofer.de
doi.org
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(98)00100-2
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