SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Design and Fabrication of a Low-cost Wafer-level Packaging for RF Devices
材料科学
深反应离子刻蚀
制作
薄脆饼
晶圆级封装
光电子学
表面微加工
蚀刻（微加工）
反应离子刻蚀
纳米技术
图层（电子）
医学
病理
替代医学
作者
Jae-Hwan Lim,
Jee-Youl Ryu,
Hyun‐Jin Choi,
Woo-Chang Choi
出处
期刊：
Transactions on Electrical and Electronic Materials
[Springer Nature]
日期：2014-04-25
卷期号：15 (2): 91-95
被引量：1
链接
or.kr
doi.org
标识
DOI：10.4313/teem.2014.15.2.91
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
更新
2025年影响因子查询已上线
(2025-6-18)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
sandwich
完成签到
，获得积分
10
1秒前
xinL
上传了
应助文件
1秒前
Nothing
完成签到，获得积分
10
1秒前
道道sy
完成签到，获得积分
10
1秒前
回忆
的
应助
被
mengqing
采纳，获得
10
2秒前
Wind
上传了
应助文件
2秒前
完美的采珊
完成签到
，获得积分
10
3秒前
大气小天鹅
完成签到
，获得积分
10
3秒前
随便
完成签到，获得积分
10
3秒前
xhm
完成签到
，获得积分
10
6秒前
三心草
完成签到
，获得积分
10
7秒前
杨杨杨
完成签到，获得积分
10
8秒前
量子星尘
发布了新的
文献求助
10
8秒前
chuzihang
完成签到
，获得积分
10
11秒前
清秋九
上传了
应助文件
12秒前
ryq327
完成签到
，获得积分
10
13秒前
xiaofenzi
完成签到，获得积分
10
13秒前
老实的乐儿
完成签到
，获得积分
10
13秒前
正己化人
完成签到，获得积分
0
13秒前
卫卫
完成签到
，获得积分
10
14秒前
丽丽
完成签到，获得积分
10
14秒前
boymin2015
完成签到
，获得积分
10
14秒前
shift3310
完成签到，获得积分
10
16秒前
战斗暴龙兽
完成签到，获得积分
10
17秒前
彭于彦祖
完成签到，获得积分
0
18秒前
drslytherin
完成签到，获得积分
10
18秒前
chy
完成签到
，获得积分
10
18秒前
txmjsn
完成签到，获得积分
0
19秒前
2012csc
完成签到
，获得积分
0
19秒前
loom
完成签到
，获得积分
10
20秒前
娇姐666
完成签到
，获得积分
10
23秒前
泡泡茶壶o
完成签到
，获得积分
0
24秒前
ktw
完成签到，获得积分
10
24秒前
Henry
完成签到，获得积分
10
25秒前
正己化人
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
27秒前
共享精神
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
27秒前
正己化人
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
27秒前
香蕉觅云
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
27秒前
傻傻的哈密瓜
完成签到，获得积分
10
27秒前
正己化人
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
27秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Basic And Clinical Science Course 2025-2026
3000
人脑智能与人工智能
1000
花の香りの秘密―遺伝子情報から機能性まで
800
Terminologia Embryologica
500
Process Plant Design for Chemical Engineers
400
Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, 3rd Edition
400
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
生物
医学
工程类
计算机科学
有机化学
物理
生物化学
纳米技术
复合材料
内科学
化学工程
人工智能
催化作用
遗传学
数学
基因
量子力学
物理化学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
5612098
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
4696228
关于积分的说明
14890813
捐赠科研通
4731873
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2546156
邀请新用户注册赠送积分活动
1510470
关于科研通互助平台的介绍
1473350
今日热心研友
Criminology34
187
670
tuanheqi
4
500
小小
500
且慢
420
Zhusfeng
17
230
风清扬
360
清秋九
25
60
无极微光
12
180
回忆
30
jyy
26
6666
13
110
yyds
220
YifanWang
210
好好
21
寻道图强
200
昏睡的蟠桃
200
Frank
11
90
LaTeXer
170
laber
4
100
精明浩然
130
Wind
12
归尘
3
80
eric888
100
迷途小书童
100
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Criminology34
tuanheqi
小小
且慢
Zhusfeng
风清扬
清秋九
无极微光
回忆
jyy
6666
yyds
YifanWang
好好
寻道图强
昏睡的蟠桃
Frank
LaTeXer
laber
精明浩然
Wind
归尘
eric888
迷途小书童
皖公网安备34019202002308
