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Comparison between newly developed and classical determinations of index and thickness of thin films on substrates by ellipsometry
作者
Thomas Easwarakhanthan,
M. Rémy
出处
期刊:
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:1996-07-01
卷期号:280 (1-2): 183-187
被引量:10
标识
DOI:10.1016/0040-6090(95)08223-9
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