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作者
Xing Qing Yan,
Zhifeng Liu,
Wei Liu,
Yongsheng Zhao,
Qiang Cheng,
Yindi Cai
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2026-02-14
卷期号：99: 593-606
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2026.02.010
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