Stepwise Gradient Etching for Low-Defect GaN Micro-LEDs with Suppressed Non-Radiative Recombination

材料科学 光学 光电子学 蚀刻(微加工) 重组 折射率 自发辐射 电子束光刻 衰减系数 俘获 光谱学 制作 激光束 相位匹配 化学气相沉积 氮化镓 可见光谱
作者
Sheng Hang,He Shuqing,Zhaohui Yang,Xuzhou Fang,Wang Xiang,Yi Wang,Qing Xu,Weiwei Wei,Guangzhen Dai,Xinnan Lin
出处
期刊:Optics Letters [Optica Publishing Group]
标识
DOI:10.1364/ol.578029
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