SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Heat-assisted chemical mechanical polishing of polycrystalline AlN: Thermochemical surface regulation for damage-free planarization
化学机械平面化
材料科学
抛光
微晶
表面粗糙度
无定形固体
表面改性
热稳定性
复合材料
磨料
溶解
化学键
表面光洁度
热的
化学工程
表层
Crystal（编程语言）
半导体
表面能
热膨胀
表面扩散
相（物质）
机械化学
作者
Jinming Li,
Tianyi Sui,
Bo Lv,
Xingwang Xu,
Haoxuan Du,
Hetian Hou,
Bin Lin,
Yinghua Qiu,
Usen K. Omuraliev
出处
期刊：
Journal of Materials Processing Technology
[Elsevier BV]
日期：2026-06-22
卷期号：354: 119390-119390
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.jmatprotec.2026.119390
求助该文献
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
黑皮牛爷爷
完成签到
，获得积分
10
刚刚
科目三
上传了
应助文件
1秒前
传奇3
上传了
应助文件
4秒前
敏感绯
发布了新的
文献求助
10
4秒前
我是老大
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
Owen
上传了
应助文件
5秒前
Ava
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
斯文败类
的
应助
被
大只00
采纳，获得
10
5秒前
小蘑菇
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
上官若男
的
应助
被
sunny
采纳，获得
10
5秒前
Owen
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
搜集达人
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
sanshu
发布了新的
文献求助
10
5秒前
隐形曼青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
彭于晏
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
aajhajkahna
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
酷波er
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
wanci
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
丘比特
的
应助
被
LIUYU
采纳，获得
10
6秒前
彭于晏
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
香蕉觅云
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
bkagyin
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
学霸业
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
tyy
发布了新的
文献求助
10
7秒前
舒服的芝麻
完成签到，获得积分
10
7秒前
Orange
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
嘿嘿
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
Berry
关注了科研通微信公众号
7秒前
aajhajkahna
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
value
完成签到，获得积分
20
7秒前
Jasper
上传了
应助文件
8秒前
虚心源智
发布了新的
文献求助
20
8秒前
科研通管家
关闭了
yuan
的
文献求助
8秒前
科研通管家
关闭了
没有银
的
文献求助
8秒前
zhang
完成签到，获得积分
10
9秒前
6L96Y
发布了新的
文献求助
30
9秒前
忧伤的香露
完成签到，获得积分
10
9秒前
赘婿
上传了
应助文件
9秒前
Akim
的
应助
被
满意的颦
采纳，获得
10
10秒前
不游走
发布了新的
文献求助
10
11秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
An Introduction to Foreign Language Learning and Teaching
750
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art
520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
Cosmos as Art Object: Studies in Plato's Timaeus and Other Dialogues
500
What is the Future of Psychotherapy in Digital Age? Technology, AI Bots, and Psychotherapy after Covid
444
煤炭地下气化渗流燃烧方法的研究
400
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7632459
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9206857
关于积分的说明
19745945
捐赠科研通
7201833
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3274824
关于科研通互助平台的介绍
2436740
邀请新用户注册赠送积分活动
2271539
今日热心研友
Nole
501
6530
cdercder
410
4150
东方元语
251
5080
张欢馨
293
3790
呵呵
69
3820
OK
69
3230
aajhajkahna
181
1660
xing_xing
117
2000
MozzieMiao
82
2080
昏睡的蟠桃
2826
Kao
130
1460
丰富语蕊
131
1410
yi
150
910
可爱的小paper
140
930
cat
111
990
v0id
87
1130
yjh123
1650
初景
54
1040
Nexus
55
1020
七听
1560
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Nole
cdercder
东方元语
张欢馨
呵呵
OK
aajhajkahna
xing_xing
MozzieMiao
昏睡的蟠桃
Kao
丰富语蕊
yi
可爱的小paper
cat
v0id
yjh123
初景
Nexus
七听
皖公网安备34019202002308
