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Tailoring crystallization kinetics of HZO-based ferroelectric thin films for low-temperature process
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Shijie Jia,
Jin Huang,
Zhipeng Wang,
Zhao Fang,
Jie Jiang,
Xuanling Liu,
Junhui Wang,
Jiangheng Yang,
Fei Yan,
Jiajia Liao,
Yichun Zhou
出处
期刊：
Acta Materialia
[Elsevier BV]
日期：2025-10-26
卷期号：302: 121670-121670
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.actamat.2025.121670
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