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Bio-inspired anti-slip and anti-adhesion surface with hemispherical microstructures for wafer handling

微观结构 薄脆饼 材料科学 粘附 表面粗糙度 纳米技术 曲率 表面光洁度 打滑（空气动力学） 杠杆（统计） 复合材料 机械工程 计算机科学 工程类 几何学 航空航天工程 人工智能 数学
作者
Jianming Wu,Keju Ji,Shaobao Liu,Tingwei Huo,Xipeng Wang,Chongwen Tu,Jiahui Zhao,Kai Deng,Zhendong Dai,Stanislav N. Gorb
出处
期刊：Tribology International [Elsevier]
日期：2023-12-09 卷期号：191: 109178-109178 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.triboint.2023.109178
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