Design Optimization of a Corrugated Piezoelectric MEMS Microphone applying Genetic Algorithms

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作者
Gabriele Bosetti,Christian Bretthauer,Andreas Bogner,Michael Krenzer,Karolina Gierl,H. Heiß,G. Schrag
标识
DOI:10.1109/eurosime60745.2024.10491462
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