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Design Optimization of a Corrugated Piezoelectric MEMS Microphone applying Genetic Algorithms
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作者
Gabriele Bosetti,
Christian Bretthauer,
Andreas Bogner,
Michael Krenzer,
Karolina Gierl,
H. Heiß,
G. Schrag
标识
DOI：10.1109/eurosime60745.2024.10491462
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