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Fast magnetron sputtering of LiPON from carbon-doped Li3PO4 target

兴奋剂 溅射沉积 腔磁控管 碳纤维 材料科学 溅射 光电子学 纳米技术 薄膜 复合材料 复合数
作者
Nicolas Osenciat,Erica D. Clinton,Joel Casella,Alessia Romio,André Müller,Evgeniia Gilshtein,Moritz H. Futscher,Yaroslav E. Romanyuk
出处
期刊：Solid State Ionics [Elsevier BV]
日期：2025-07-15 卷期号：429: 116957-116957
标识
DOI：10.1016/j.ssi.2025.116957
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