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Comparative study of Ar- and He-rich SF6 + Ar + He plasmas for dry etching applications: Diagnostics and kinetic modeling

等离子体动能干法蚀刻蚀刻（微加工）材料科学分析化学（期刊）化学纳米技术环境化学物理核物理学量子力学图层（电子）

作者

Andrey Miakonkikh,Vitaly Kuzmenko,Alexander Efremov,K. V. Rudenko

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-08-18 卷期号：241: 114673-114673 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114673

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