SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
Short-Pulse Laser and Plasma Etching Composite Micromachining for Realizing High-Accuracy SiC Pressure Sensor
表面微加工
材料科学
蚀刻（微加工）
等离子体
光电子学
等离子体刻蚀
脉搏（音乐）
激光器
复合数
微电子机械系统
碳化硅
复合材料
光学
制作
物理
医学
替代医学
病理
图层（电子）
量子力学
探测器
作者
Yabing Wang,
You Zhao,
Yu Yang,
Yulong Zhao
出处
期刊：
IEEE Transactions on Electron Devices
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01
卷期号：: 1-7
标识
DOI：10.1109/ted.2025.3539647
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
活动
『应助活动周』获奖名单已公布 🔥
(2025-4-2)
更新
『中科院2025期刊分区』已更新
(2025-3-23)
更新
『即时热点』模块已上线
(2025-2-28)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
科研通AI5
上传了
应助文件
1秒前
结实的小土豆
完成签到
，获得积分
10
5秒前
Vintage
发布了新的
文献求助
10
6秒前
827584450
上传了
应助文件
7秒前
蔡蔡
完成签到
，获得积分
10
7秒前
小蝌
完成签到，获得积分
10
8秒前
桐桐
的
应助
被
skhhh
采纳，获得
10
12秒前
科研通AI5
上传了
应助文件
12秒前
Ankher
完成签到，获得积分
10
16秒前
李十九
发布了新的
文献求助
10
21秒前
fl
发布了新的
文献求助
10
25秒前
菜根谭
完成签到
，获得积分
10
29秒前
研友_Zzrx6Z
发布了新的
文献求助
10
34秒前
HEAUBOOK
上传了
应助文件
35秒前
12
完成签到
，获得积分
10
38秒前
海蓝鲸
完成签到
，获得积分
10
38秒前
桐桐
上传了
应助文件
40秒前
英姑
上传了
应助文件
41秒前
wanci
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
42秒前
研友_VZG7GZ
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
42秒前
852
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
42秒前
我是老大
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
42秒前
非而者厚
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
50
43秒前
科研通管家
关闭了
奇拉维特
的
文献求助
43秒前
王鑫
发布了新的
文献求助
10
47秒前
kosang
发布了新的
文献求助
10
47秒前
大个
的
应助
被
研友_Zzrx6Z
采纳，获得
10
48秒前
陈东东
完成签到，获得积分
10
49秒前
爆米花
上传了
应助文件
49秒前
纪星星
完成签到
，获得积分
10
50秒前
科研通AI2S
上传了
应助文件
51秒前
酷波er
的
应助
被
fl
采纳，获得
10
53秒前
归尘
的
应助
被
王鑫
采纳，获得
10
53秒前
NexusExplorer
的
应助
被
闪闪的芷蕾
采纳，获得
10
53秒前
哆啦梦
发布了新的
文献求助
10
54秒前
wab
完成签到，获得积分
0
55秒前
落寞奎
发布了新的
文献求助
10
55秒前
红枫没有微雨怜
完成签到
，获得积分
10
57秒前
李健的小迷弟
的
应助
被
一木张
采纳，获得
10
1分钟前
酷波er
上传了
应助文件
1分钟前
高分求助中
【此为提示信息，请勿应助】请按要求发布求助，避免被关
20000
Периодизация спортивной тренировки. Общая теория и её практическое применение
310
Technologies supporting mass customization of apparel: A pilot project
300
Mixing the elements of mass customisation
300
the MD Anderson Surgical Oncology Manual, Seventh Edition
300
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles
300
Political Ideologies Their Origins and Impact 13th Edition
260
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
工程类
有机化学
物理
生物化学
纳米技术
计算机科学
化学工程
内科学
复合材料
物理化学
电极
遗传学
量子力学
基因
冶金
催化作用
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
3780712
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
3326219
关于积分的说明
10226204
捐赠科研通
3041293
什么是DOI，文献DOI怎么找？
1669330
邀请新用户注册赠送积分活动
799040
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明
758723
今日热心研友
pluto
169
2800
昏睡的蟠桃
18
3510
bc
62
1300
cdercder
1560
jenningseastera
80
710
qiao
69
640
Oracle
25
980
pcr163
22
810
不倦
50
520
HEIKU
46
530
HEAUBOOK
51
430
iNk
49
410
小飞飞
36
520
笨笨芯
49
320
平常的毛豆
41
360
今天只做一件事
31
440
研友_Y59785
60
善良的剑通
56
糟糕的铁锤
510
科研小民工
500
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
pluto
昏睡的蟠桃
bc
cdercder
jenningseastera
qiao
Oracle
pcr163
不倦
HEIKU
HEAUBOOK
iNk
小飞飞
笨笨芯
平常的毛豆
今天只做一件事
研友_Y59785
善良的剑通
糟糕的铁锤
科研小民工
皖公网安备34019202002308
