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Characterization of Cu and SiCN Adhesion in BEOL Interconnections
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作者
Chang-Fu Han,
Jiaming Yang,
Chia-Hua Chang,
Yu‐Sheng Lin,
Jyun-Lin Wu,
Yao-Chun Chuang,
Ryan Lu
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DOI：10.1109/irps48204.2025.10982984
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