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Production experience using indium(I) iodide as a source material for vaporization operation in a medium current implanter

材料科学 汽化 铟 电流（流体） 离子注入 碘化物 工程物理 工艺工程 放射化学 光电子学 无机化学 离子 电气工程 有机化学 工程类 化学
作者
Roger S. Johnson,Nguyen Bao Tran,Jess Nelson,Michael Caldwell
出处
期刊：MRS Advances [Springer Nature]
日期：2025-02-24 卷期号：10 (4): 522-525
标识
DOI：10.1557/s43580-025-01200-3
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