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A grade 1 titanium capacitive microsensor for continuous pressure monitoring of intracorporal pressures

电容感应钛材料科学生物医学工程电气工程医学工程类冶金

作者

G. Bécan,Hadrien Philippe,J. Phung,Bertrand Boutaud,M. Woytasik,David Bouville,Élie Lefeuvre

出处

期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering [IOP Publishing]
日期：2021-07-30 卷期号：31 (9): 095008-095008 被引量：5

链接

hal.sciencedoi.org

标识

DOI：10.1088/1361-6439/ac1995

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