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Formation of CVD copper films investigated by surface analysis and reflectivity

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作者

Zakaria Belabed,B. Lecohier,A. Cros,H. Dallaporta

出处

期刊：Journal de physique [Springer Science+Business Media]
日期：1993-08-01 卷期号：03 (C3): C3-98 被引量：1

链接

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标识

DOI：10.1051/jp4:1993311

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