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Study on epitaxial structure and substrate material variations for improving electrical reliability of the MSM AlGaN/GaN 2DEG varactors

材料科学 光电子学 静脉曲张 薄脆饼 氮化镓 蓝宝石 蓝宝石上的硅 基质（水族馆） 电容 外延 电子工程 图层（电子） 电极 硅 纳米技术 光学 工程类 物理化学 化学 地质学 激光器 物理 海洋学 绝缘体上的硅
作者
Yu-Li Hsieh,Hao-Zong Lo,Tzer‐En Nee,Chia-Ning Chang,Chenghao Yang
出处
期刊：Microelectronics Reliability [Elsevier]
日期：2023-02-16 卷期号：142: 114905-114905 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.microrel.2023.114905
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