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Structural Сharacteristics, Mechanical Properties, Wear and Oxidation Resistance of Coatings in the Mo–Y–Zr–Si–B System Obtained on Molybdenum by Magnetron Sputtering in the DCMS and HIPIMS Modes

材料科学 高功率脉冲磁控溅射 微晶 溅射沉积 复合材料 涂层 弹性模量 腔磁控管 扫描电子显微镜 冶金 溅射 薄膜 纳米技术
作者
Ph. V. Kiryukhantsev–Korneev,Ф. И. Чударин,Р. А. Вахрушев,А. Д. Сытченко,М. И. Карпов,Peizhong Feng,Е. А. Левашов
出处
期刊：Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces [Pleiades Publishing]
日期：2023-11-01 卷期号：59 (5): 933-945 被引量：1
标识
DOI：10.1134/s2070205123701095
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