Design of a compact long-stroke high-precision rigid-flexible coupling motion stage driven by linear motor

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作者
Liyun Su,Guanxin Huang,Ruirui Huang,Zhijun Yang
出处
期刊:Journal of Mechanical Science and Technology [Springer Science+Business Media]
卷期号:36 (12): 5859-5870 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s12206-022-1104-8
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