发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！

Towards aluminum oxide/aluminum nitride insulating stacks on 4H–SiC by atomic layer deposition

材料科学 氮化物 氧化铝 原子层沉积 图层（电子） 铝 氧化物 沉积（地质） 冶金 复合材料 古生物学 沉积物 生物
作者
Bruno Galizia,Patrick Fiorenza,Emanuela Schilirò,B. Pécz,Zsolt Foragassy,Giuseppe Greco,Mario Saggio,Salvatore Cascino,Raffaella Lo Nigro,Fabrizio Roccaforte
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2024-02-20 卷期号：174: 108244-108244 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108244
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
herococa的应助被貔貅采纳，获得10
1秒前
意绵雅风完成签到，获得积分10
15秒前
25秒前
欣慰宛菡完成签到，获得积分20
32秒前
nenoaowu发布了新的文献求助10
40秒前
斯文败类的应助被nenoaowu采纳，获得10
44秒前
QQ完成签到，获得积分10
45秒前
lixia完成签到 ，获得积分10
45秒前
yyds发布了新的文献求助10
51秒前
123321完成签到 ，获得积分10
58秒前
ch完成签到，获得积分10
1分钟前
SBoot完成签到，获得积分10
1分钟前
可靠的以莲的应助被yyds采纳，获得30
1分钟前
ch发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
美好灵寒完成签到 ，获得积分10
1分钟前
微笑笑萍发布了新的文献求助10
1分钟前
乐乐的应助被微笑笑萍采纳，获得10
1分钟前
zzahyc给zzahyc的求助进行了留言
1分钟前
夏侯德东完成签到，获得积分10
1分钟前
微笑笑萍完成签到，获得积分20
1分钟前
动听的银耳汤完成签到，获得积分10
1分钟前
Shining_Wu完成签到，获得积分10
1分钟前
柚子完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
海豚发布了新的文献求助10
1分钟前
oxs完成签到 ，获得积分10
2分钟前
完美世界的应助被绝味大姨采纳，获得10
2分钟前
2分钟前
绝味大姨发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
小魔鬼发布了新的文献求助10
2分钟前
LHY发布了新的文献求助10
2分钟前
深情安青的应助被海豚采纳，获得10
3分钟前
小魔鬼完成签到，获得积分10
3分钟前
星星发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
3分钟前
学谦完成签到 ，获得积分10
3分钟前
高分求助中
The Mother of All Tableaux Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 1370
生物降解型栓塞微球市场（按产品类型、应用和最终用户）- 2030 年全球预测 1000
Implantable Technologies 500
Ecological and Human Health Impacts of Contaminated Food and Environments 400
Theories of Human Development 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360
International Relations at LSE: A History of 75 Years 308
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 计算机科学 内科学 纳米技术 复合材料 化学工程 遗传学 催化作用 物理化学 基因 冶金 量子力学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3922049
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3466826
关于积分的说明 10945311
捐赠科研通 3195708
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1765776
邀请新用户注册赠送积分活动 855756
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 795077
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通