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Dependence of the Characteristics of Mo Films on Sputter Conditions
作者
Jeff L. Alleman,
Hamda A. Al-Thani,
Rommel N. Noufi,
Helio Moutinho,
M. M. Al‐Jassim,
Falah S. Hasoon
出处
期刊：
U.S. Department of Energy Office of Scientific and Technical Information - OSTI OAI
[Office of Scientific and Technical Information]
日期：2000-01-01
被引量：9
链接
osti.gov
osti.gov
unt.edu
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摘要
The residual stress, resistance, orientation, and microstructure of sputtered Mo films were studied as a function of varied-deposition power and pressure.
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